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Sputtern
Nach oben Beitrag drucken #1
Geschrieben am 22.07.2011 - 13:26:27
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So, ich lege jetzt mal meine letzte Hoffnung in eure kompetenten Hände. Ich muss im Rahmen meines Forschungspraktikums einen Praktikumsbericht anfertigen. Meine Aufgabe ist es, Interferenzschichtsysteme zu sputtern. Allerdings korrelieren meine Ergebnisse nicht mit der Theorie. Daher ist meine Frage nun, wie sich die Sputterrate berechnen lässt. Wie ich mitbekommen habe, gibt es hier im Forum den ein oder anderen Technoloigie-Interessierten bzw. den ein oder anderen Ingenieur, Chemiker oder Physiker.
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Nach oben Beitrag drucken #2
Geschrieben am 22.07.2011 - 13:38:14
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RE: Sputtern

scene hat geschrieben:
So, ich lege jetzt mal meine letzte Hoffnung in eure kompetenten Hände.

Jetzt hast du verloren ROTFLOL ---> nee, Spaß...

Mich wundert ein wenig, dass du solche Systeme sputterst. Ich habe die Erfahrung gemacht, dass PVD zumindest für Interferenzschichtsysteme ungünstiger ist, als CVD. Aber ich bin eher ein Verfechter des Bedampfens. Asche auf mein Haupt :-)

Dir zu helfen wird nicht einfach werden, da du nicht viel Infos zu deiner Konfiguration gegeben hast. Was auf jeden Fall klar sein sollte ist, dass die Rate umgekehrt proportional zur Zeit sein sollte. Es ist zu überlegen welche Größen da alles reinspielen. Auf jeden Fall spielt die Menge des gesputterten Materials eine Rolle. Daher meine erste Frage:

Was sputterst du (SiO2, Gold, Titan oder wat?)
Welche Targetform nutzt du (Delta oder Rund)

Weiterhin spielt der Gasentladungsdruck eine wesendliche Rolle. Mehr DRuck im Rezipienten heißt, mehr Argonionen (nutzt du Argon?) also mehr Wechselwirkung untereinander und daher Dichteinschränkung an der Targetfläche. Also zweite Frage?

Welchen Druck nutzt du?

Was nicht unwesendlich ist, ist der Elektrodenabstand. Da dieser Aber konstant sein sollte, musst du den nicht berücksichtigen.

Interessant wäre noch zu wissen, wie dick deine Interferenzschichten werden sollen. Schreib mal bitte dein Schichtsystem mit optischer Dicke auf.


Aus dem Chaos sprach eine Stimme zu mir: Lächle und sei froh, es könnte schlimmer kommen. Und ich lächelte und war froh, und es kam schlimmer."
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Geschrieben am 22.07.2011 - 15:12:51
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RE: Sputtern

Ich habe mich einfach für das Sputtern entschieden weil ich das an der Uni schonmal gemacht habe. CVD dhingegen kenne ich nicht so gut.

Also, meine Interferenzschichten sind drei Zweierpaare:
SiO2 (100nm) - Gold (20nm)
SiO2 (100nm) - Gold (20nm)
SiO2 (100nm) - Gold (20nm)

Target: DELTA

Druck 2,5*10^(-2) mbar

Die Anlage ist eine 4480.
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Geschrieben am 22.07.2011 - 15:19:53
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Amateur


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RE: Sputtern

Okay, Sputtern... Wikipedia ist mein Freund - wieder was gelernt ^^

Cya, Mäxl


Ich nehme keine Drogen.
Ich schnüffel Schwingspulenlack!
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Geschrieben am 28.07.2011 - 09:10:38
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RE: Sputtern

So, nun nochmal mit Antwort. Die Sputterrate wirst du mit der Leistung einstellen können. Am besten öffnest du das Abfuhrventil auf wenige Bogenmiuten, da sonst die Korrektur des Ventils eine zu größe Unsicherheit der Spannung und des Stromes ergibt. Es soll nicht geschlossen werden aber zumindest stabil sein.
Wenn du die Leistung eingestellt hast, solltest du eine nahezu konstante Rate bekommen. Das ist auch nötig, aufgrund der Reproduzierbarkeit. Aber Vorsicht, das Schichtvolumen ändert sich nicht linear mit der Ratenerhöhung. Die Linearität hast du nur Näherungsweise.


Aus dem Chaos sprach eine Stimme zu mir: Lächle und sei froh, es könnte schlimmer kommen. Und ich lächelte und war froh, und es kam schlimmer."
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